金融界2025年1月18日消息，国家知识信息显示，北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“工艺介质输运结构及半导体工艺设备”的，授权公告号 CN 222352094 U，申请日期为2024年3月半导体设备有限公司 。
摘要显示，本实用提供一种工艺介质输运结构及半导体工艺设备，工艺介质输运结构包括储液部件、储气部件和第一测压部件，储液部件与储气部件连通，并用于与工艺介质源连通，储液部件用于对由工艺介质源输入的液态工艺介质进行储存，并向储气部件输运工艺介质蒸汽，储气部件与半导体工艺设备的工艺腔室可选择的通断，用于对工艺介质蒸汽进行暂存，第一测压部件与储气部件连通，用于检测储气部件暂存的工艺介质蒸汽的压力半导体设备有限公司 。本实用提供的工艺介质输运结构及半导体工艺设备，能够使工艺介质蒸汽以满足半导体工艺需求的气速进入工艺腔室，从而能够改善半导体工艺结果。
天眼查资料显示，北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业半导体设备有限公司 。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目992次，知识产权方面有商标信息31条，信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
来源：金融界