金融界2025年1月27日消息，国家知识信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体设备的腔室匹配方法”的，公开号 CN 119351986 A，申请日期为2023年9月半导体设备有限公司 。
摘要显示，本发明提供一种半导体设备的腔室匹配方法，该方法包括数据提供步骤、活化能计算步骤与腔室匹配判断步骤，其中，腔室匹配判断步骤中计算被测腔室对应的表观活化能与基准腔室对应的表观活化能之间的差值率，并基于活化能差值率判断腔室是否匹配半导体设备有限公司 。本发明通过引入阿伦尼乌斯公式计算方法，计算出特定反应状况下的活化能，以此作为衡量标准，去判断不同腔室间的匹配条件，其中活化能着活化分子的平均能量与反应物分子的平均能量之间的差值，彼此匹配的外延腔室应有着相似的化学反应环境，其活化能亦应相近。本发明的半导体设备的腔室匹配方法可以改善半导体设备例如化学气相沉积外延机台的腔室匹配，过程简单，易于实现，不会引入其他污染和缺陷。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业半导体设备有限公司 。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目165次，知识产权方面有商标信息15条，信息508条，此外企业还拥有行政许可55个。
来源：金融界