研微申请用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备,使待调度物料在半导体处理设备中的处理时长最短:半导体设备有限公司

金融界2024年12月24日消息,国家知识信息显示,研微(江苏)半导体科技有限公司申请一项名为“用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备”的,公开号 CN 119168328 A,申请日期为2024年11月半导体设备有限公司

摘要显示,本申请提供了一种用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备半导体设备有限公司 。该方法包括获取待调度物料的第一批次信息,第一批次信息与每个实际物料在半导体处理设备中的工艺相关;根据第一批次信息计算虚拟物料的数量,并构建虚拟物料的第二批次信息,第二批次信息与每个虚拟物料在第三单元的状态切换相关;构建任务调度模型,将第一批次信息和第二批次信息作为任务调度模型的输入,任务调度模型的目标函数是使待调度物料在半导体处理设备中的处理时长最短,任务调度模型的约束条件与第一批次信息和第二批次信息相关联,任务调度模型用于输出满足目标函数的待调度物料的决策变量。

来源:金融界

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