金融界2024年12月25日消息,国家知识信息显示,深圳市联得半导体技术有限公司申请一项名为“清洁装置及半导体设备”的,公开号 CN 119175655 A,申请日期为2024年8月半导体设备有限公司 。
摘要显示,本申请涉及一种清洁装置及半导体设备,所述清洁装置可用于对半导体设备的共晶头进行清洁半导体设备有限公司 。所述清洁装置包括清洁台、研磨件、扫刷件以及驱动机构。所述研磨件和所述扫刷件均设于所述清洁台上,所述驱动机构与所述清洁台连接并用于带动所述清洁台运动至待工位置和工作位置在所述工作位置时,所述清洁台位于所述共晶头下方,所述研磨件用于研磨所述共晶头,所述扫刷件用于扫刷所述共晶头。
来源:金融界