金融界2024年12月26日消息,国家知识信息显示,上海衍梓智能科技有限公司申请一项名为“一种半导体设备安全控制方法、安全控制系统及控制设备”的,公开号 CN 119181663 A,申请日期为2024年9月半导体设备有限公司 。
摘要显示,本发明公开了一种半导体设备安全控制方法、安全控制系统及控制设备半导体设备有限公司 。所述安全控制方法包括以下步骤:S1输入要求半导体设备执行相关动作的指令;S2根据所述指令调取与之对应执行机构的禁止条件;S3检测半导体设备的实时工作参数,获得侦测值;S4将所述侦测值和禁止条件进行对析,判断是否启动执行机构。其中,所述禁止条件具有扫描周期,根据所述扫描周期取得所述侦测值,将所述侦测值和禁止条件进行对析时,对最长扫描周期的禁止条件对比两次。本发明建立了基于安全限制条件并执行周期性检测的安全控制模式,提高了半导体设备控制运行的可靠性。
来源:金融界