金融界2025年1月25日消息，国家知识信息显示，上海陛通半导体能源科技股份有限公司申请一项名为“一种低成本的半导体制造设备及工艺”的，公开号CN 119340189 A，申请日期为2024年10月半导体设备有限公司 。
摘要显示，本发明提供一种低成本的半导体制造设备及工艺半导体设备有限公司 。设备包括：工艺腔体、排气管路、真空泵、用于供应第一保护气体的第一保护气体供应装置、用于供应第二保护气体的第二保护气体供应装置以及控制器；所述排气管路的两端分别与工艺腔体及真空泵连接；所述控制器控制第一保护气体和第二保护气体的供应以在排气管路中有气体排放时，向真空泵中通入不与工艺气体反应的第一保护气体，在排气管路中未有工艺气体排放时，通过一直线型进气通道和一螺旋进气通道分别向真空泵中通入成本低于第一保护气体的第二保护气体。本发明有助于在减少高成本的第一保护气体的用量的同时提高对真空泵的清洁能力，延长真空泵的使用寿命，降低设备使用成本，提高产出率。
天眼查资料显示，上海陛通半导体能源科技股份有限公司，成立于2008年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业半导体设备有限公司 。企业注册资本5344.808万人民币，实缴资本5344.808万人民币。通过天眼查大数据分析，上海陛通半导体能源科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，知识产权方面有商标信息135条，信息188条，此外企业还拥有行政许可20个。
来源：金融界