金融界2025年1月23日消息，国家知识信息显示，北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的，公开号 CN 119332219 A，申请日期为2023年7月半导体设备公司 。
摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备，其包括腔体、基座、承载件和测速件，所述基座可转动地安装于所述腔体内，所述承载件的数量为多个，且各所述承载件均转动安装于所述基座，各所述承载件均用以承载待加工件；所述基座上对应所述承载件的区域设有驱动气道和检测通孔，所述驱动气道与气源连接，以驱动所述承载件相对基座转动，所述测速件与所述基座相对固定，且所述测速件与所述检测通孔相对设置，所述测速件用以检测所述承载件相对所述基座的转动速度半导体设备公司 。上述半导体工艺设备可以解决目前半导体工艺设备无法监测晶圆的转速，进而可能因晶圆的转速较快或较慢而对晶圆的厚度均匀性和掺杂均匀性产生不利影响的问题。
天眼查资料显示，北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业半导体设备公司 。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目998次，知识产权方面有商标信息36条，信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
来源：金融界